高精度質量流量控制器/流量計的簡介及密封選型

隨著新能源、新材料、半導體等產業的蓬勃發展，氣體流量測量與控制精度的要求日益嚴苛。產線不僅要實現微小流量的精準調控，還需應對腐蝕性、高純度等特殊介質的挑戰。在這一背景下，金屬密封氣體質量流量控制器作為關鍵的基礎元器件，在諸如氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、清洗機等核心工藝設備中發揮著關鍵性作用。

ACCU專注于精密流體流量的測量與控制，旗下自主研發的20FD系列高精度金屬密封氣體質量流量計/流量控制器，基于熱式毛細管溫差量熱法原理，直接測量氣體質量流量，測量值不受溫度和壓力波動的干擾。

20FD系列具備寬流量范圍，標準量程范圍：0~（2SCCM...10000SLM），支持非標定制。精度可達±0.5%F.S，兼具預熱時間短，零漂小，快速響應和長期穩定性等特點。其管狀分流結構不易堵塞。20FD系列支持模擬量輸入/輸出，多種數字通訊模式RS232/485Modbus協議、PROFIBUS、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 可選。適配產線各種通訊架構，也可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量，實現遠程、自動化操作。

密封材質與耐腐蝕選型：

      氣體質量流量控制器的耐腐蝕能力、工藝安全性與使用壽命，核心取決于密封結構與密封材質，也是工況選型的關鍵依據。ACU20FD氣體質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 與工藝氣體接觸的部件通常采用316L不銹鋼搭配金屬密封或彈性密封：

1、金屬密封：

一般使用不銹鋼、金、鎳等高耐腐蝕材質，理論上可兼容任何氣體，包括各類腐蝕性氣體與高純特種氣體。對于三溴化硼（BBr?）、三氯化硼（BCl?）等強腐蝕性介質，以及MOCVD工藝中使用的金屬有機化合物，推薦采用ACU20FD金屬密封質量流量控制器，采用定制全金屬密封結構，專為需要精確氣體流量控制的工業應用而設計，能夠有效抵抗腐蝕性氣體侵蝕，降低污染物和顆粒物吸附對氣體純度的影響，為高純度氣體應用提供高精度和可靠性高的測控方案。

2、彈性密封：

橡膠彈性體密封適配惰性、輕度腐蝕性常規工藝氣體。因成本較低，常用采用氟橡膠（FKM），可耐受多數含量較低的干燥酸性、堿性的氣體及鹵素氣體。但面對酸堿度比較明顯的、以及特殊腐蝕性氣體時，必須精準匹配專用橡膠，例如：氨氣需選用耐氨橡膠（如乙丙橡膠）；三溴化硼、三氯化硼則需要成本較高的全氟醚橡膠（FFKM）。

憑借精準的工況適配能力與可靠的產品品質，20FD系列質量流量控制器已應用于各類制造產線，為眾多合作伙伴提供定制化流體測控解決方案，收獲廣泛認可。

如需精準工況選型、了解詳細產品參數與適配方案，可咨詢獲取專屬選型指南，定制適配您產線的高效流量測控方案。

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